用于大规格高量子效率和多色焦平面列阵的波纹量子阱红外光电探测器的优化(下)

摘要

在图10中，与E分量有关的量子效率和平均内部强度Φin是利用MTL模型在同样的P、to和tg（但侧面角为48°）条件下计算出来的，波纹上覆盖着介质层和金属层，它们的td为0．4μm。MTL方法表明在相同的位置有同样的吸收峰。在λ=8．4μm（N=6）处，η可达50％。由于现在的敏感层薄得只有大波纹时的1／3左右，其转换效率约为大波纹时的3倍。