GaAs基谐振腔增强型光电探测器的量子效率角度及偏振相关特性研究

摘要

谐振腔增强型（RCE）光电探测器的基本结构是在谐振腔中插入较薄的吸收层，它具有高量子 效率和高响应速度兼容的优点，并且利用谐振腔的选模作用使器件响应具有良好的波长选择性及空间角度选择性。本文结合理论计算与实验分析，对 GaInAs/GaAs 和 GaInNAs/GaAs 量子阱 RCE结构光电探测器的量子效率的角度相关特性及偏振相关特性进行了深入、细致的研究。