微型瞬态薄膜热流计的研制

摘要

本文开发研制了一种薄膜热流计,该薄膜热流计以石英玻璃为基片,由一层热阻层和一个差分热电堆组成.差分热电堆由28对分布在热阻层两侧的热电偶构成.本文对该薄膜热流计进行了标定,并测试了该热流时的稳态和瞬态响应.在稳态测试中,得出该热流计加热过程中的时间常数是90s.利用一个全反射的卤素灯和一个光源切割轮测试该热流计的瞬态响应,发现该薄膜热流计能够跟踪信号的最高频率为330Hz.