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快速高精度转速的测量和控制

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本文介绍了一种测速方法和速度,加速度控制方法,并成功应用于某硅片处理系统中,应用表明本方法具有测速范围宽,测量精度高和响应快等特点,效果满意.

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来源
《中国仪器仪表学会第三届青年学术会议》|2001年|78-78|共1页
会议地点沈阳
作者
樊波; 常弘; 白建社; 薛钧义; 年有权; 张文涛;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体器件制造工艺及设备;速度测量仪表;
关键词
转速测量; 转速控制; 硅片处理系统;
入库时间 2022-08-17 11:18:07

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