离子注入高速工具钢表面改性研究

摘要

报道了Ｍ〈，２〉型高速工具钢在Ｃｕ、Ａｌ离子注入后表面硬度及抗磨损性的变化。对注入样品进行了显微硬度及抗磨损性的测量和ＸＲＤ与ＲＢＳ分析，观察了表面强化与离子注入条件之间的关系。结果显示，注入样品与未注入样品相比，表面硬度及抗磨损性均有显著提高。分析的结果表明，Ｃｕ〈’＋〉、Ａｌ〈’＋〉离子对表面强化的作用不同。一方面由于Ｃｕ〈’＋〉、Ａｌ〈’＋〉离子注入在样品中产生了不同的相；另一方面，在注入过程中二者引起的溅射产额不同也是产生差异的一个重要因素。