纳米SiC、Si<,3>N<,4>、Si/C/N微粉的气相合成方法

摘要

该文对８０年代后期以来，运用ＣＶＤ、ＣＶＣ、Ｌａｓｅｒ、Ｐｌａｓｍａ等技术高温反应裂解有机物和有机低分子聚合物合成ＳｉＣ、Ｓｉ〈，３〉Ｎ〈，４〉、Ｓｉ／Ｃ／Ｎ纳米微粉的方法和各种反应体系的特点以及前景进行了综述和讨论。