刷片对硅单晶抛光片表面质量的影响

摘要

该文用ＳＶＧ双面擦片机刷洗经ＲＣＡ工艺清洗后的硅片表面，结果表明，经ＳＶＧ双面擦片机刷洗后的硅片表面的颗粒有明显的减少，经ＴｅｎｃｏｒＳｕｒｆａｃｅＳｃａｎ－１６４测试直径１００ｍｍ的硅片大于０．３ｕｍ的颗粒总数小于１０个／片。