基于90nm COMS毫米波共面波导建模

摘要

本文阐述了毫米波CMOS集成电路的关键技术之一,Si基共面波导(CPWs)的机理和等效电路模型.建立了基于硅衬底的标准90nmCMOS工艺的毫米波CPW模型,通过仿真和实验数据对比,由于高频测试环境的不稳定，在40GHz以上S11扰动比较大，整体上，在0~60GHz内，模型和测试数据一致，验证了模型和参数提取算法的准确性。