SDS集成电路图形辅助设计语言

摘要

该语言是一种主要用于电子束制版的集成电路设计语言。由于电子束曝光机制版的特点，语言考虑了一些亚微米图形的要求，并具有拚接、分割功能，对特殊图形的处理不但灵活，精度也高。几年的使用证明，该语言较为简单易懂，易于查错及修改错误。（本刊录）