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张朝郎;
计算机控制;
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机译:具有衬底的热电偶的微机械结构的制造方法,微机械辐射传感器和温度传感器的结构和/或
机译:具有衬底和热电偶的微机械结构,温度和/或辐射传感器以及用于制造微机械结构的方法
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