Si纳米摩擦影响因素的MD研究

摘要

本文基于MD对硅材料界面摩擦力的影响因素进行了研究,主要考虑了干摩擦时相对滑移速度及湿摩擦界面水膜厚度的影响。结果表明,与宏观摩擦不同,相对滑移速度对微观摩擦力有重要影响,微观摩擦力随滑移速度的增加而增加;而当界面水膜厚度为单层水分子时,摩擦力与干摩擦相比有所增加。