50 kW级高性能等离子体逆变器设计及其实验研究

摘要

高可靠高性能的大功率等离子体电源对大功率等离子体系统全面发展和推广应用起着至关重要的作用.研制了一种高效节能、稳定可靠的50 kW级高性能等离子体逆变器,利用高频全桥逆变技术实现强等离子体能量的高效传递和变换;设计了以UC3846为核心的控制电路和高频脉冲变压器为核心的驱动电路,采用双闲环控制模式进一步提高电源系统的响应性能和可靠性;最后对研制的50 kW样机进行性能测试和燃弧实验研究.结果表明,设计合理可行,研制的大功率等离子体逆变器工作稳定可靠,性能优良.