一类新的金属氧化物薄膜气敏元件的开发

摘要

简述了温变气敏元件的研发机理。用不平衡电桥原理设计了测量反应温变Δtrea的装置。给出了Δtrea随气体浓度C变化的规律Δtrea=A Cn/(1+BCm)(A,B,n,m＞0,n＞m)。提出了研制温变薄膜气敏元件的工艺流程。