基于扩张状态观测器和T-S模型的批间控制器设计

摘要

半导体生产工业是目前发展最快的产业之一。测量时延普遍存在于批次生产过程中.该时延不仅会影响系统的稳定性,而且影响晶圆的加工质量.此外,该测量时延也是随机变化的.为克服该问题,本文提出一种基于扩张状态观测器和T-S模糊模型的批间控制算法.首先用扩张状态观测器构建批间控制器,再利用T-S模型来修整控制器,对随机时延的变化.最后以混合制程仿真验证本文算法的有效性.