使用麥克森式相位調製模組測量軟性玻璃厚度方的法研究

摘要

本研究提出了一个新的干涉仪架构,可量测软性玻璃的厚;它包含一个光源模组、一个相位调制模组、及一个干涉模组;且它是以最低光强认定法来进行检测.本论文介绍该干涉仪的架构、原理、实验架设、实验结果.结果验证了本研究所提干涉仪的正确性及可应用性,且说明该实验架设有0.02μm的量测标准差.