玻璃与金属封接层氧化膜分布状态的研究

摘要

在微波电子管中,广泛采用电子玻璃与金属封接件.为了深入研究玻璃与金属封接层氧化膜元素价态变化,及封接界面元素的扩散过程与封接工艺规范的相关性,采用俄歇电子能谱(Auger electron spectoscopy)VGMICROLABLMK I多功能表面分析仪,应用直接谱模式分析俄歇峰的精细结构,以得出元素的价态分布.研究结果得出:严格控制金属在封接前预氧化规范,可获得主体组分是低价氧化物的封接氧化膜,以保证玻璃与金属之间有良好的浸润性能,实现其真空气密性封接,从而满足高可靠微波电子管的技术要求.