双线并绕无感铂薄膜热敏电阻器研制

摘要

针对现有铂薄膜热敏电阻器抗电磁干扰能力较弱的问题,提出电磁场环境下精确测温的解决方案.基于电磁感应原理,在铂薄膜热敏电阻器版图设计上,采用双线并绕方法建立无感结构模型.选用无磁材料,通过对铂膜制备、精细刻蚀、陶瓷激光打孔等工艺方法研究,实现无感结构铂薄膜热敏电阻器制作.实验结果表明:该结构铂薄膜热敏电阻器在不同频率下电感特性明显降低,有效减小外界电磁场测温影响,适用于电磁场环境下精确测温.