采用台阶仪测试膜层厚度时影响准确性的方法改进

摘要

通过一系列对照试验,排查出了采用台阶仪测试膜层厚度的影响因素及消除措施,提高了膜层厚度测试的准确度.通过大量试验，找出了采用台阶仪测试膜层厚度的影响因素有:一是样品表面刻蚀处理时，在刻蚀液里应将测试面朝上放置。二是粘贴胶带时用刀片划去胶带边缘位置，再进行刻蚀。三是采取防止污染引起测试结果不准确的措施。通过以上方法，有效地提高了膜层厚度测试的准确度。