MEMS在军事导航与控制系统上的应用研究

摘要

本文对MEMS惯性传感器的结构组成、制造工艺及其在军事导航与控制系统的应用进行了研究.目前MEMS技术已广泛应用于各种军事导航与控制系统中,MEMS惯性测量装置、与GPS组合的制导系统、MEMS基INS/GPS制导系统因为体积小、质量轻、功耗低、价格低等诸多优点确立了其优势地位.随着微电子、纳米技术和集成电路工艺的进一步发展和MEMS惯性制导系统性能的进一步提高,其最终将完全应用于军事导航与控制系统这一领域.