森松多晶硅技术(CVD)介绍

摘要

介绍了还原炉，还原模块，技术服务，优势，随着中国多晶硅行业蓬勃发展，森松依托自身强大的研发团队、丰富的化工设备及工艺系统模块的研发经验，连续研发了完全拥有自主知识产权和专利的还原炉系列，由最初的12对棒还原炉到现在的48对棒的新型还原炉（SMS-300、SMS-500、SMS-700），还原炉在中国多晶硅市场中占有率达80%。这三个指标相互关联，需要寻找平衡点，如何解决产量、电耗与表面质量的矛盾。