40MHz0.3秒快速稳定的异质结钝化层沉积核心量产设备

摘要

异质结电池钝化层沉积对设备的要求钝化层很薄,膜层的工艺时间很短钝化效果好,低损伤高开机率,高产能设备稳定重复,特别是RF射频系统40MHz甚高频0.3s等离子体快速稳定设备及托盘免日常人工维护,快速方便核心反应腔7年,客户方3年,零RF问题。