音圈电机直驱的柔性解耦定位系统动力学特性与控制方法

摘要

近年来,随着电子信息、机器人技术和生物医学产业的蓬勃发展,其相关行业器件不断向高性能、高集成度和微型化方向发展,这对器件封装的质量和效率提出了新的要求.作为微器件封装装备的核心组成部分,定位系统的性能直接影响相关操作的质量,进而影响微器件特性.探索基于新型驱动方式和机构形式的高速精密定位系统对于提高微器件封装质量具有十分重要的作用.因此,本项目针对基于显微视觉导引的音圈电机直驱柔性解耦定位系统动态设计方法、动力学建模与特性分析、控制策略等开展研究,为该类面向极端应用的定位系统设计提供基础理论和实践指导.