平板玻璃氟掺杂SnO2薄膜制备工艺的研究

摘要

采用溶胶-凝胶法,以三氟乙酸、SnCl4为原料制备FTO溶胶,将制备的FTO溶胶采用超声喷雾热解法进行沉积镀膜.实验结果表明:对镀膜溶胶不同掺F的量进行性能分析,在F/Sn=30％～50％时薄膜可获得较好的光学性能及低的电阻;对不同的基板温度进行研究,在500～550℃时,薄膜结构为晶化充分的四方相多晶结构,薄膜表面致密无缺陷,方块电阻为30Ω/□.