非球面碳化硅反射镜往复式磨削面形精度建模及仿真

摘要

碳化硅陶瓷具有高强度,低密度,高的化学稳定性等性质,成为制作非球面反射镜的理想材料.选择圆弧面砂轮磨削非球面碳化硅反射镜,基于往复式磨削方式对非球面反射镜的残余高度进行了建模,通过残余高度与面形精度的几何关系,建立了面形精度预测模型并进行了仿真分析.面形精度模型仿真结果表明,随着截圆弧长的增加,面形精度降低;随着倾角的增大,面形精度降低;随着砂轮基圆半径的增加,面形精度提高;随着砂轮圆弧半径的增加,面形精度提高.其中截圆弧长和砂轮基圆半径对面形精度影响较大.