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浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术

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摘要

对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺.针对不同来源的原料,通过对精馏参数和吸附剂等的调整得到合格的产品,符合半导体行业使用要求.

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来源
《全国特种气体第十八次年会》|2014年|59-62|共4页
会议地点浙江萧山
作者
陈艳珊; 廖恒易;
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作者单位

全国特种气体信息站;

中昊光明化工研究设计院有限公司;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种气体;
关键词
电子级八氟环丁烷; 精馏工艺; 吸附工艺; 产品质量;
入库时间 2022-08-17 10:36:18

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