大功率高频高压脉冲电源的研制

摘要

高频高压脉冲电源技术最近几十年在环境治理和保护领域中蓬勃发展,显示出了广阔的应用前景,因此脉冲电源技术成为国内外学术的研究热点.本文详细介绍了高频高压脉冲调制电源的研制过程。该电源基于全桥逆变电路，利用IGBT串联技术，提高了开关耐压水平，保证电源具有较高的输出幅值。使用静态均压电阻保证了IGBT在关断过程中的电压均衡，分析了RCD动态均压策略在IGBT开关过程中的作用，使用压敏电阻保证IGBT不因电路浪涌电压而损坏。设计了PWM脉冲发生电路、IGBT串联电路的同步脉冲驱动电路和全桥电路的驱动电路。研制的脉冲电源性能稳定，上升时间小于10ns，下降时间小于100ns，最小脉冲宽度1μs，频率10kHz-100kHz可调，脉冲幅值最高可达±5kV，带负载能力强（负载阻抗大于104Ω时，对输出波形几乎没有影响）。