首页> 中文会议>2014中国平板显示学术会议 >双栅结构对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管电学性能的改进

双栅结构对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管电学性能的改进

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文介绍了双栅a-IGZO TFT的制备,并对其电学特性进行了研究.测试结果显示,双栅a-IGZO TFT较单栅器件具有更大的驱动电流,更高的载流子迁移率和更陡的亚阈值斜率.当沟道长度减小到6μm时,单栅器件出现短沟效应,而在双栅器件中,短沟效应得到了抑制.另外,由于底栅和顶栅电极可分开偏置,从而可实现对器件阈值电压的动态调节.

著录项

来源
《2014中国平板显示学术会议》|2014年|82-84|共3页
会议地点南京
作者
Xin He; 贺鑫; Wei Deng; 邓伟; Xiang Xiao; 肖祥; Longyan Wang; 王龙彦; Letao Zhang; 张乐陶; Shengdong Zhang; 张盛东;
展开▼
作者单位

中国光学学会电子行业协会液晶分会;

中国物理学会液晶分会;

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN321.5:TN305;
关键词
非晶铟镓锌氧薄膜晶体管; 双栅结构; 制备工艺; 电学性能;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管电学性能研究 [J] . 郭晓晴 . 中国新技术新产品 . 2016,第019期
2. 环境湿度对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管负偏压光照稳定性的影响 [J] . 冯国锋 ,章雯 ,董承远 . 液晶与显示 . 2021,第005期
3. 非晶铟镓锌氧薄膜晶体管钼/铜源漏电极的研究 [J] . 张磊 ,刘国超 ,董承远 . 发光学报 . 2018,第006期
4. 非晶铟镓锌氧薄膜晶体管银/钛源漏电极的研究 [J] . 吴崎 ,许玲 ,董承远 . 液晶与显示 . 2016,第004期
5. 低温增强型非晶铟镓锌氧薄膜晶体管特性研究 [J] . 李远洁 ,江凯 ,刘子龙 . 西安交通大学学报 . 2015,第012期
6. 基于叠层结构的非晶铟镓锌氧(a一IGZO)薄膜晶体管的性能优化研究 [C] . 王韬 ,卢红亮 ,杨建国 . 第十四届长三角科技论坛暨第十届华东真空学术交流会 . 2017
7. 机械应力下多晶硅薄膜晶体管和负栅压偏置下非晶铟镓锌氧薄膜晶体管的可靠性研究 [A] . 徐思维 . 2016

双栅结构对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管电学性能的改进

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅