SOI-SIMOX薄膜材料制备及性能

摘要

ＳＯＩ（ＳｉｌｉｃｏｎｏｎＩｎｓｕｌａｔｅｒ）材料近年来的在国内外得到广泛的研究，ＳＯＩ－ＣＭＯＳ电路离实际应用已为期不远，作者利用离子注入制备出ＳＯＩ－ＳＩＭＯＸ（ＳｅｐａｒａｔｉｏｎｂｙＩｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎｏｆＯｘｙｇｅｎ）薄膜材料，并用背散射（ＲＢＳ），扩展电阻（ＳＲ）和红外吸收（ＩＲ）等，对ＳＩＭＯＸ薄膜进行了测试。