台式软X射线近贴显微系统

摘要

以小型化Ｎｄ：ＹＡＧ调Ｑ脉冲激光产生的高温等离子体作为软Ｘ射线源，采用软Ｘ射线近贴显微技术，建立了台式软Ｘ射线显微系统，得到了像分辨率优于５μｍ的初步结果。