一种近衍射限聚焦软X射线显微光束线光学设计

摘要

软X射线扫描显微术、显微谱学等方面的研究需要有纳米量级的聚焦光斑,在同步辐射光束线建造中实现X射线的衍射限聚焦十分重要.设计采用了具有较高相干通量的波荡器辐射光源,利用衍射光学元件波带板实现近衍射限成象.引入了冗余照明的概念,以保证成象元件的空间相干照明.充分考虑水平和垂直方向的相空间匹配问题,以提高输出通量.设计聚焦光斑尺寸50nm,输出光通量可达109photons/s@0.1%BW