新型低阳极结构快速二极管特性研究

摘要

新型低阳极二极管通过孔注形成"波浪形"有源区结构,实现高掺杂P区和低掺杂P区具有规律性的浓度梯度变化,从而保证器件工作过程中电流的均匀性和低漏电流.此结构在制造实现时,工艺步骤简单且无需增加掩膜版即可实现发射极注入效率的自调节,制造成本低.与正常结构二极管相比,其综合性能大概提高了22％,与知名厂商样管Qrr的差距减小5.7倍,从而减小开关器件的工作损耗;而反向电流峰值减小了29％,反向电压峰值减小了11％,反向恢复时间减小11％,特性略优于国际知名厂商样管.