五氧化二磷在NTDFz-Si退火中的应用

摘要

将五氧化二磷应用于ＮＴＤＦｚ－Ｓｉ的退火中，对同种不同情况的样品进行了处理，并对结果进行了分析讨论；同时与ＨＣＬ＋Ｏ〈，２〉退火工艺的结果数据进行了对比分析。