氮化炉中水蒸汽浓度对氮化烧成制品质量的影响

摘要

利用硅和氮直接合成氮化硅，并用基作为结合相生产化硅－碳化硅制品时，氮化炉中水蒸汽浓度过大（＞０．７％）的话，对制品的质量会产生诸多不良影响。