双极型晶体管强电磁脉冲损伤模型与仿真分析

摘要

结合双极型晶体管工艺仿真和强电磁脉冲效应机理,建立双极型晶体管电磁脉冲效应仿真分析的二维电-热模型.通过分析器件内部电场强度,电流密度和温度分布的变化,研究了由基极和集电极注入电磁脉冲时的损伤效应,结果表明,基极注入主要损伤器件的B-E结,集电极注入首先损伤器件的B-C结,基极注入更易毁伤器件,与实验对比符合较好.