掺铂TiO<,2-x>薄膜型氧传感器元件的制备和性能

摘要

以钛酸丁酯和无水乙醇分别为原料和溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在Al<,2>O<,3>基片上制备TiO<,2>薄膜，经1000℃H2下还原制得TiO<,2-x>薄膜。