纳米级氮化硅生产自动控制系统的研究

摘要

该文介绍一个满足纳米级氮化硅生产工艺要求的自动控制系统。该系统使用了工业ＰＣ、ＰＬＣ、智能控制仪等多种处理单元，并借鉴了网络控制系统技术。系统中的各个智能单元通过廉价的４８５总线组网。文中对一些具体设计问题进行了探讨。