超声AB腐蚀法显示砷化镓晶体缺陷的可靠性

摘要

为了提高砷化镓缺陷检测的可靠性，研究人员在实际应用中特意对熔融KOH腐蚀法、AB腐蚀法和超声AB腐蚀法三种腐蚀方法进行了可靠性对比实验研究。其中超声AB腐蚀法却表现出操作简便，适用范围广，显示缺陷的可靠性和充分性都很高。同时它的分辩能力强，获得缺陷信息量多等特点，是一种值得推广的GaAs晶体缺陷检测方法。该文提出了超声AB腐蚀法检测GaAs晶体缺陷的检测工艺条件。并提供了部分有代表性的照片。建议有关部门在今后修订国家标准时应对超声AB腐蚀法予以考虑。