64×64 InSb凝视焦平面探测器技术研究

摘要

该文根据近两年来在64×64 InSb凝视焦平面探测器研究工作中的一些问题及进展对InSb凝视焦平面探测器技术所涉及的几项关键工艺进行了一些分析，并对如何解决这些问题提出了一些认识。最后介绍了目前64×64 InSb凝视焦平面探测器的研究进展。