PCVD-TiN等涂层的抗高温氧化性

摘要

该文研究了用PCVD法制备的TiN，TiAlN及TiSiN硬质涂层的抗高温氧化性及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性。结果表明， TiAlN，TiSiN涂层在空气中抗高温氧化性可达700℃以上，TiN涂层可达600℃。在双氧水介质中，PCVD-TiN涂层仍具有较强的抗氧化能力，且优于PVD-TiN涂层。