沉积氮化钛技术的新进展

摘要

氮化钛膜做为超硬涂层可以提高工模具的使用寿命，做为仿金精饰层主要用于表壳、表带、箱包五金、卫生洁具有大厅园柱等的装璜、美化，深受企业家和广大消费者的青睐。近二十年来，各种沉积氮化钛薄膜的技术层出不穷。近几年主要是多弧离子镀的磁控溅射镀出现了新的动态。