红外金属微杜瓦的真空寿命研究

摘要

该文就将影响红外金属微杜瓦的结构特点、影响其真空寿命的因素，并结合近年来所研制的“１２８×１２８ＰｔＳｉＣＣＤ”红外金属微杜瓦的工作实际进行了分析研究，并提出了解决的方法和可行性措施及有待继续解决的问题。