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刘正堂;
中国金属学会功能材料分会;
Ge,xC,1-x薄膜;
机译:射频磁控反应溅射沉积铜掺杂NiO薄膜的结构和光学性能研究
机译:直流脉冲磁控反应溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜的光学性能
机译:椭圆偏振光谱法研究直流磁控反应溅射AZO薄膜的表面粗糙度和光学性能
机译:磁控纳米复合薄膜磁控纳米复合薄膜磁控型合成技术过程的建模与优化
机译:氧化铝的双磁控反应溅射。
机译:溶胶-凝胶法和磁控反应溅射制备Eu掺杂ZnO薄膜的结构性能与能量转移的相关性
机译:射频和直流磁控反应溅射TiO 2薄膜的气敏特性
机译:用于mEms应用的低应力alN压电薄膜的直流磁控反应溅射
机译:用较小的溅射阴极对大衬底上的薄膜磁控脉冲溅射直流磁控反应溅射的方法和装置
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