等离子辅助沉积DLC膜的结构和微摩擦磨损特性

摘要

利用双离子束辅助沉积技术，制备了类金刚石薄膜。并用XRD、XPS，Raman谱、FT-IR谱和AFM／FFM等方法对类金刚石薄膜的结构、化学状态、硬度、表面形貌及微现摩擦磨损特性进行了研究。实验结果表明，类金刚石薄膜是具有SP<'3>＋SP<'2>混合键的非晶结构，SP<'3>的含量较高，其结构特征接近金刚石。类金刚石薄膜表面光滑，硬度高。类金刚石薄膜的微摩擦系数为0．04，低于同样条件下Si<,3>N<,4>探针/单晶硅Si摩擦副的微摩擦系数；耐磨能力较高。微摩擦力基本不随扫描次数而变化。