CuO／ZnO薄膜PN结的正向伏安特性随相对湿度的变化

摘要

用活化反应蒸发法在普通玻璃基片上制备出CuO/ZnO薄膜PN结，研究了该PN结的正向伏安特性曲线随相对湿度的变化。CuO/ZnO薄膜PN结的正向伏安特性曲线随相对湿度的变化而改变，相对湿度越高，正向电流越大；正向偏压越高，湿度灵敏度越高。