低能团簇束流制备纳米薄膜的结构和奇特性质

摘要

低能束流团簇淀积（ＬＥＣＢＤ）方法制备多种纳米薄膜，具有一定奇特的结构和性质。该文重点讨论Ｔｅ团簇聚集成膜及其同激光相互作用特点。