Mo-Ti多层膜退火过程中Ti析出与应力变化分析

摘要

用XRD Sin<'2>4方法系统研究了Mo-Ti薄膜退火过程中Ti析出与薄膜应力的变化。磁控溅射形成的过饱和Mo-25at．℅Ti多层膜不同温度下的退火实验表明bcc Ti析出发生，且析出相与田相具有相同的织构取向；随着Ti的析出薄膜应力由制备态时的位伸型变为收缩，并下断增加直到饱和。