溅射薄膜二线制压力变送器研制

摘要

该文介绍了溅射薄膜二线制压力变送器的原理及主要组成部分。由离子束溅射薄膜压力传感器及专用的新型二线制变送器集成电路组成的压力变送器兼具二者的优点，二线制４～２０ｍＡ电流输出，性能稳定可靠，适和于要求较高的工业测控系统等广泛的应用领域。