电极表面ＴｉＢ〈，２〉薄膜改性后的真空绝缘效果

摘要

一定结构的半球（阴极）－平板（阳极）组成的真空间隙，来模拟特种电真空器件中电极间的微放电过程。用ＩＢＡＯ（高子束辅助沉积）法，在阴极半球面上沉积出结合程度很高的晶化ＴｉＢ〈，２〉薄膜。实验证明：相比不锈钢材料，在高达１０００℃的温度下，表面几乎不氧化，在单次脉冲高压作用下，在经受数百次高能微粒轰击后，还能承受更高电压、，放电特征参数，更弱，对脉冲电源形成的动态负载更轻。