交流电弧沉积TiAlN涂层性能的研究

摘要

用该技术沉积的TiAlN涂层的组织是细纤维状，硬度和涂层中的Ti与Al原子比值有关，Ti/Al=1时的硬度为最高。TiAlNI涂层的抗氧化性能均优于TiC和TiN，涂层中Al的含量越高涂层的抗氧化性能就越好在塑料模具上沉积TiAlN涂层可以提高模具寿命3.3倍。