亚微米级道沟的超级化学镀镍填充工艺

摘要

本文在次磷酸钠化学镀镍体系中研究共同添加3-巯基丙烷磺酸钠盐(MPS)和聚乙烯亚胺-5000(PEI-5000)对超级化学镀镍的影响,通过线性扫描伏安法研究了添加剂对阳极、阴极化曲线的影响.研究结果表明:随着3-巯基丙烷磺酸钠盐(MPS)浓度的增加,化学镀镍平均速率增大,当MPS浓度达到5mg/L时镀镍平均速率达到最大,然后在此溶液中继续添加PEI-5000,发现沉积速率会下降,且比单独添加PEI-5000还小.利用MPS对化学镀镍的加速作用和PEI-5000的抑制作用,以及其在溶液中低的扩散系数,成功实现了超级化学镍的完全协同填充.